| 要求 | 原因 | 传统风机的问题 | 空气悬浮风机 |
|---|---|---|---|
| 100%无油 | 油雾会造成晶圆/PCB污染 | 油润滑存在油气迁移 | 无油运行,零油气 |
| 颗粒控制 | 颗粒附着导致短路、良率下降 | 内部磨损产生微粒 | 无接触磨损,本体不产尘 |
| 恒压恒流 | 气流不稳影响吹扫与干燥均匀性 | 工频运行压力波动大 | 变频闭环±2% |
| 连续可靠 | 停产一小时损失以十万计 | 轴承/齿轮磨损故障率高 | 悬浮运转,寿命20年+ |
Q:洁净室用风机为什么必须无油?
A:油雾一旦进入洁净气流,会在产品表面形成有机污染,直接造成器件失效,且事后清洗成本极高,源头无油才是根本解法。
Q:空气悬浮风机自身会产生颗粒吗?
A:其转子悬浮运转、无机械接触磨损,本体不产生金属微粒,配合下游过滤即可满足洁净要求。
Q:电子厂改造如何控制停机风险?
A:按工序分批切换,新风机先并入旁路试运行,验证风量风压与洁净度后再正式投用,可做到产线不停线。
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